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低溫液氮探針臺 LN-4H-06產(chǎn)品主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。
手動探針臺系統(tǒng)，可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺
ZP3-4 微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動。
室溫半自動探針臺 TZ-H-06室溫自動探針臺，高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06產(chǎn)品特點(diǎn)，真空腔體：真空度優(yōu)于610-4 Pa。降溫后優(yōu)于610-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。
聯(lián)系人：霍先生
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